电子行业VOCs废气特点及治理工艺简述

VOCs对环境和人类健康都有很大的影响，因此，对其进行有效的治理是非常必要的。工业污染源 VOCs排放总量的50%左右，主要涉及涂装、农药、医药、涂料、染料、电子、石油化工、家具制造、印刷等行业。

电子行业VOCs废气特征
电子行业VOCs废气具有风量大、浓度低的特点。废气种类繁多，成分复杂，常见成分有苯、甲苯、丙酮、正丁醇、丙醇单甲醚、环己酮、正庚烷、甲基氢呋喃、三氯乙烯和氯仿等。排放VOCs废气还含有酸性气体、碱性气体和有毒气体。如果不处理这些废气，不仅会对周围环境产生较大危害，还会严重影响工人健康，长时间接触这些气体，会对肺部和皮肤黏膜产生刺激作用，从而导致呼吸道和皮肤疾病。
电子行业产生VOCs的工艺环节
电子行业VOCs废气主要来自于半导体设备、电子元器件、电子组件、平板显示器、整机机壳的表面涂层工艺使用的溶剂型涂料、清洗工艺使用有机脱脂剂、脱水剂、感光成像工艺中的光刻胶稀释剂、显影剂、脱胶剂、液态阻焊膜剂、去膜剂等使用有机溶剂的工艺环节。电子行业涉及VOCs产生较多的主要是光伏制造和电子元件制造。1）光伏行业典型生产工艺为多晶硅电池的生产工艺流程，产生VOCs的环节包括切割、粘结、清洗、印刷、烧结等过程。2）电子元件包括电容器、电阻器、电位器、电感器、电子变压器、控制元件、电子敏感元件、传感器和印制电路板等，其工艺流程中涉及注塑、喷涂/印刷、烘干、清洁等环节均会产生VOCs。
VOCs污染防控对策
1）加强源头控制
鼓励VOCs排放企业积极使用环保型材料，推进落后传统工艺的升级换代，使用低挥发原材料，改善生产操作条件以减少无组织逸散，采用新工艺以减少有机溶剂用量，从源头控制VOCs排放。2）强化末端治理针对电子行业VOCs排放特点采用的末端治理技术主要是吸附法和焚烧法。吸附法利用多孔性固体吸附剂（如沸石转轮、活性炭）处理混合气体，活性炭属非极性吸附剂，对非极性化合物有较强的吸附能力，一般可净化低浓度VOCs，净化效率约90%。沸石转轮与活性炭使用条件和原理相似，但沸石转轮以其净化效率高、浓缩倍数高、可连续运行等优点得到广泛运用，沸石浓缩转轮+焚烧方法的去除效率可达90%；RTO设备净化效率可达到99%。对于半导体、TFT—LCD和LED、PCB等企业，有机废气一般还含有酸性气体、碱性气体和一些有毒气体，治理技术一般采用“预处理+吸附浓缩焚烧法”组合方式，即前端通过喷淋塔淋洗，后接沸石浓缩转轮+焚烧的方法。（以上内容参考《电子工业废气VOCs排放特征及防治对策探讨》、《浙江省挥发性有机物污染防治》

电子行业应用案例

                                       某半导体制造企业转轮+RTO废气处理系统
针对该行业废气特点，本项目采用浓缩+焚烧的治理工艺。浓缩转轮对大风量、低浓度废气进行浓缩，浓缩后的尾气进入到RTO进行焚烧；焚烧产生的余热可用于转轮的脱附，实现了能源的回收利用，相比于直燃炉而言，该方案能够大大节省运行费用（节省60%以上的运行成本）。此外，由于该行业中含有腐蚀性气体，需要注意预处理及热能利用方案的选择；若采取不当的措施，极容易在运行阶段对设备本体造成无法修复的影响和损伤。